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隨著電力行業的迅猛發展，電力行業大量設備的投入，尤其是SF6電器設備的不斷增加，對SF6氣體抽真空裝置的安裝調試以及檢修維護的要求越來越高，在這樣的條件下，SF6氣體抽真空充氣裝置就產生了，它專門用于對SF6電氣設備的抽真空、充氣。采用手推移動式，可適應室內外正常環境條件下使用。本裝置系統比較復雜，由真空泵、SF6壓縮機、冷凍系統、貯存容器、管路、各種閥門、儀表及其他附件組成。系統中設置了三只油分離器，分別安裝在真空泵出口一只及壓縮機的出口二只，以有效去除SF6氣體所帶的油份。那SF6氣體抽真空充氣裝置工作原理及功能是怎樣的呢？
SF6氣體抽真空充氣裝置工作原理：

                              SF6氣體抽真空充氣裝置原理圖

SF6氣體抽真空裝置功能：

1.快速抽氣
2.調壓充氣
3.結構堅固
4.高精度熱偶真空計